供应1700℃真空管式CVI系统实验高温炉

YG-1706I-CVI系统由YG-1706真空管式炉四路质量混气系统，真空压强控制系统，尾气冷凝收集处理系统等组成。真空泵采进口抗腐蚀隔膜真空泵，真空度可达到7.5x10-1Torr；可实现多路混合气体化学气相沉积和扩散试验。

主要技术参数：

YGL-1706管式炉   双层炉壳间配有风冷系统，有效保证外壳表面温日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好加热元件采用优质U型硅钼棒，表面负荷高，大大提高了其使用寿命  

电源   AC220V 50/60Hz  6KW  

炉管   采用99氧化铝刚玉管，致密度高，经久耐用，不易断裂尺寸：Φ80*/1000mm刚玉支撑架，有效保证料件处于温区中心  

法兰及支撑   SUS304不锈钢快速水冷法兰，长期水冷无腐蚀一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷可调节的法兰支撑，平衡炉管的受力支撑包含进气、出气、真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合，4个密封硅胶圈等  

加热系统   加热元件：4根U型硅钼棒加热区长度：280mm恒温区长度：100mm工作温度：≤1600℃升温速率：≤10℃/min  

温控系统   温度控制采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能50段升降温程序测温元件：B型双铂铑热电偶恒温精度：±1℃超温、断偶故障警报及断电保护  

四路质量混气系统   高精度质量流量计通过数据接口连接电脑，配置软件实时人机交互界面四通道质量流量控制，可同时通入四种不同气体内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀每路气体进气管路配有不锈钢针阀流量规格：0~30SLM控制精度：±1.0％F.S  

真空系统   采用德国LABOPORT小型抗腐蚀隔膜真空泵，可用于腐蚀性气体和蒸汽介质真空度可达7.5x10-1 Torr 可长时间连续工作，无须担心泵因过热保护而中止实验可选配真空表，实现对真空及压力的调节控制配置气体尾气处理系统  

冷凝系统   采用低温恒温槽，*低温度可达-20℃内置不锈钢真空冷凝灌，采用KF接头，清理收集方便槽内冷液可外引,冷却机外实验容器,也可在槽内直接进行低温、恒温实验