供应1200℃真空管式CVD系统实验高温炉

YHG-1206I-CVD系统由滑动式管式炉，混气系统，真空及压力系统等组成。此系统烧结温度可达1200℃，通过滑动炉体来实现快速的升降温；配置不同的真空系统来达到理想的真空度；同时通过三路高精度质量流量计控制不同气体。是为生长石墨烯生长、研发的专用炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。

1、 高真空系统由双级旋片真空泵和分子泵组成，*高真空可达0.0001Pa；

2、 可配合压强控制仪控制气体压力，实现负压的精准控制；

3、 数字质量流量控制系统是由多路质量流量计，流量显示仪等组成，实现气体的流量的精密测量和控制；

4、 每条气体管路均配备高压逆止阀，保证系统的安全性和连续均匀性；

5、 采用KF快速法兰密封，装卸方便快捷；

6、 管路采用世界*Swagelok卡套连接，不漏气；

7、 超温、过压时，自动切断加热电源及流量计进气，使用安全可靠；

8、炉体可移动，能够使加热部分快速降温。

主要技术参数：

炉体结构   双层炉壳间配有风冷系统，有效保证外壳表面温；日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好炉子底部装有一对滑轨，移动平稳炉子可以手动从一端滑向另一端，实现快速的加热和冷却支撑两端安装油压缓冲器炉盖可开启，可以实时观察加热的物料  

电源   电压：AC220V 50/60Hz；功率：4KW  

炉管   高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小尺寸：Φ40/60/80/100*1200mm  

法兰及支撑   SUS304不锈钢快速法兰，通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷可调节的法兰支撑，平衡炉管的受力支撑包含进气、出气、真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合  

加热系统   加热元件采用优质合金丝0Cr27Al7Mo2，表面负荷高、经久耐用加热区长度：410mm恒温区长度：200mm工作温度：≤1150℃*高温度：1200℃升温速率：10℃/min  

温控系统   温度控制采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能30段升降温程序测温元件：N型热电偶恒温精度：±1℃  

混气系统   三路质量流量计：数字显示、气体流量自动控制内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀管路采用不锈钢管，接口为Φ6卡套每路气体进气管路配有不锈钢针阀通过控制面板上的旋钮来调节气体流量流量规格：0~1SLM流量精度：±1.5%  

真空系统   采用双极旋片真空泵，真空度可达5x10-1 Torr 数显式真空压力表可选高真空系统及真空计，压力控制系统等  

可选配件   混气系统,中、高真空系统，各种刚玉、石英坩埚，石英管，计算机控制软件，无纸记录仪，氧含量分析仪。